Two-step MOVPE, in-situ etching and buried implantation: applications to the realization of GaAs laser diodes

Weitere Titel
Zweistufige MOVPE, in-situ Ätzen und vergrabene Ionenimplantation: Verwendungen zur Realisierung von GaAs-Laserdioden
Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Berlin, Technische Universität Berlin, Dissertation, 2021

Schlagwort
Etching
Diodes

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Berlin
(wer)
Technische Universität Berlin
(wann)
2021
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Weyers, Markus
Kneissl, Michael
Jetter, Michael
Weyers, Markus

DOI
10.14279/depositonce-11494
Handle
11303/12694
URN
urn:nbn:de:101:1-2021033101582688978125
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:49 MEZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Della Casa, Pietro
  • Weyers, Markus
  • Kneissl, Michael
  • Jetter, Michael
  • Technische Universität Berlin

Entstanden

  • 2021

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