Two-step MOVPE, in-situ etching and buried implantation: applications to the realization of GaAs laser diodes

Alternative title
Zweistufige MOVPE, in-situ Ätzen und vergrabene Ionenimplantation: Verwendungen zur Realisierung von GaAs-Laserdioden
Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch
Notes
Berlin, Technische Universität Berlin, Dissertation, 2021

Keyword
Etching
Diodes

Event
Veröffentlichung
(where)
Berlin
(who)
Technische Universität Berlin
(when)
2021
Creator
Contributor
Weyers, Markus
Kneissl, Michael
Jetter, Michael
Weyers, Markus

DOI
10.14279/depositonce-11494
Handle
11303/12694
URN
urn:nbn:de:101:1-2021033101582688978125
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:49 PM CET

Data provider

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Associated

  • Della Casa, Pietro
  • Weyers, Markus
  • Kneissl, Michael
  • Jetter, Michael
  • Technische Universität Berlin

Time of origin

  • 2021

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