- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783862475025
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
VIII, 168 S.
- Language
-
Englisch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Wuppertal, Univ., Diss., 2014
- Bibliographic citation
-
Mikro- und Nanostrukturierung ; Bd. 5
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Nanoprägen
Fotolithografie
Kombinationsverfahren
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.03.2025, 11:40 AM CET
Data provider
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- Dhima, Khalid
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Time of origin
- 2014
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