Controllable Si oxidation mediated by annealing temperature and atmosphere

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource, 10 Seiten
Language
Englisch

Bibliographic citation
In: Journal of materials science(57), H. 24, S.10943-10952 - ISSN 1573-4803
In: Springer Science + Business Media B.V, Dordrecht [u.a.]

Event
Veröffentlichung
(where)
Ilmenau
(who)
TU Ilmenau
(when)
2022
Creator
Li, Feitao
Wang, Dong
Klingenhof, Malte
Flock, Dominik
Wang, Honglei
Strasser, Peter
Schaaf, Peter

DOI
10.1007/s10853-022-07354-x
URN
urn:nbn:de:101:1-2023032703072067212580
Rights
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
14.08.2025, 10:46 AM CEST

Data provider

This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.

Associated

Time of origin

  • 2022

Other Objects (12)