Controllable Si oxidation mediated by annealing temperature and atmosphere

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource, 10 Seiten
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: Journal of materials science(57), H. 24, S.10943-10952 - ISSN 1573-4803
In: Springer Science + Business Media B.V, Dordrecht [u.a.]

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Ilmenau
(wer)
TU Ilmenau
(wann)
2022
Urheber
Li, Feitao
Wang, Dong
Klingenhof, Malte
Flock, Dominik
Wang, Honglei
Strasser, Peter
Schaaf, Peter

DOI
10.1007/s10853-022-07354-x
URN
urn:nbn:de:101:1-2023032703072067212580
Rechteinformation
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:46 MESZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2022

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