Struktur und Eigenschaften von gesputterten a-C:H:Nb-Schichten für piezoresistive Sensoren
- Alternative title
-
Structure and properties of a-C:H:Nb coatings for piezoresistive sensors
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Braunschweig, Technische Universität Braunschweig, Dissertation, 2020
- Keyword
-
Sensor
Dehnungsmessung
Beschichtung
Magnetron
Sputtern
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Braunschweig
- (who)
-
Technische Universität Braunschweig
- (when)
-
2021
- Creator
-
Grein, Maria
- Contributor
- DOI
-
10.24355/dbbs.084-202101121458-0
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:084-2021011214589
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:33 AM CEST
Data provider
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Associated
- Grein, Maria
- Bräuer, Günter
- Dietzel, Andreas
- Technische Universität Braunschweig
Time of origin
- 2021
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