Entwicklung von kapazitiven Dehnungsmessstreifen in Dünnschicht-technologie für drahtlose, intelligente Systeme

Zusammenfassung: Der vorliegende Beitrag beschäftigt sich mit der Entwicklung kapazitiver Dehnungsmessstreifen(DMS). Das Sensor-konzept wird vorgestellt und die Herstellung mittels Dünnschichttechnologie beschrieben. Als Trägersubstrate, die das dielektrische Verhalten des Sensors wesentlich beeinflussen, wurden zwei flexible Polymerfolien ausgewählt, ein Po-lyimid und ein Flüssigkristall Polymer(LCP). Die Dehnmessstreifen werden charakterisiert und die Empfindlichkeit gemessen. Mit einem Messaufbau in einer Klimakammer war es möglich den Einfluss der Temperatur und Luftfeuchte auf das Sensorausgangssignal zu ermitteln. Der K-Faktor eines auf Polyimid aufgebauten und mit Acryllack verkapsel-ten Sensors, mit einer Elektrodenbreite von 45 μm und Strukturabständen von 15 μm beträgt -1,38 , bei einer Grundka-pazität von 48 pF. In Bezug auf die Luftfeuchte konnte eine drastische Reduzierung der Querempfindlichkeit durch die Verwendung von LCP als Substrat und Abdeckung erzielt werden. Um den K-Faktor zu erhöhen und den Einfluss von Temperatur und Feuchte zu senken wurden zwei Sensorstrukturen senkrecht zueinander stehend als Halbbrücke ver-schaltet. Der K-Faktor des Gesamtsystems beträgt -2,3, die Feuchteempfindlichkeit 170 ppm/% rLF. Der Einfluss der Temperatur konnte von ca. 2200 ppm/K für einen einzelnen Sensor auf 24 ppm/K gesenkt werden

Angaben zum Objekt

• Standort: Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
• Umfang: Online-Ressource
• Sprache: Deutsch
• Anmerkungen: MikroSystemTechnik Kongress 2011, Seite 201-204, 2011, isbn: 978-3-8007-3367-5

Klassifikation und Themen

• Klassifikation: Industrielle und handwerkliche Fertigung
• Schlagwort: Dehnungsmessstreifen ; Drahtloses Sensorsystem

Beteiligte, Orts- und Zeitangaben

• Ereignis: Veröffentlichung
• (wo): Freiburg
• (wer): Universität
• (wann): 2016
• Urheber: Zeiser, Roderich ; Jörger, Thorbjörn ; Fellner, Thomas ; Wilde, Jürgen

Weitere Informationen

• DOI: 10.6094/UNIFR/10653
• URN: urn:nbn:de:bsz:25-freidok-106535
• Rechteinformation: Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
• Letzte Aktualisierung: 14.08.2025, 10:54 MESZ