Hochschulschrift
Stochastische und numerische Modellierung der Wachstumsprozesse bei der Abscheidung von amorphen, wasserstoffhaltigen Siliziumfilmen
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
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30 cm
- Extent
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V, 118 S.
- Language
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Deutsch
- Notes
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graph. Darst.
Heidelberg, Univ., Diss., 1998
- Keyword
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Silicium
Amorpher Zustand
Wasserstoff
Laser-CVD-Verfahren
Computersimulation
- Creator
- Table of contents
- Rights
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- Last update
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11.06.2025, 2:18 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift