Hochschulschrift

Stochastische und numerische Modellierung der Wachstumsprozesse bei der Abscheidung von amorphen, wasserstoffhaltigen Siliziumfilmen

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Dimensions
30 cm
Extent
V, 118 S.
Language
Deutsch
Notes
graph. Darst.
Heidelberg, Univ., Diss., 1998

Keyword
Silicium
Amorpher Zustand
Wasserstoff
Laser-CVD-Verfahren
Computersimulation

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Last update
11.06.2025, 2:18 PM CEST

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