Hochschulschrift
Beiträge zum Verständnis des sauren nasschemischen Ätzens von Silicium : das System HF-HNO3-H2SO4/H2O
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
III, 173 Bl.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 2014 (Nicht für den Austausch)
- Keyword
-
Industriechemikalie
Silicium
Silicium
Nassätzen
Flusssäure
Salpetersäure
Schwefelsäure
Silane
Wafer
Textur
Ätzen
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:07 PM CEST
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Object type
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