Hochschulschrift
Mikrostrukturierungstechniken zur Herstellung von MEMS aus Halbleitern großer Bandlücke
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783939473848
- Dimensions
-
21 cm, 250 g
- Extent
-
200 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2009
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
MEMS
Resonator
Galliumnitrid
Heterostruktur
Halbleitersubstrat
Siliciumcarbid
Ätzen
Prozessoptimierung
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Ilmenau
- (who)
-
Univ.-Verl.
- (when)
-
2010
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 12:11 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Niebelschütz, Florentina
- Univ.-Verl.
Time of origin
- 2010
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