Hochschulschrift

Micromechanical indentation study of stress related effects in transistor channels

Weitere Titel
Micromechanical indentation study of stress related effects ...
Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783839617977
3839617979
Maße
21 cm
Umfang
134 Seiten
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Illustrationen, Diagramme
Technische Universität Dresden, Dissertation, 2021

Erschienen in
Schriftenreihe Kompetenzen in Keramik und Materialdiagnostik ; vol. 1

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Stuttgart
(wer)
Fraunhofer Verlag
(wann)
[2022]
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Fraunhofer IRB-Verlag
Fraunhofer IKTS, Dresden

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:31 MESZ

Datenpartner

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • [2022]

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