Hochschulschrift | Online-Publikation

Elektronenbeugungsmethoden zur Strukturanalyse epitaktischer Siliziumkarbidschichten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Jena, Univ., Diss., 2003

Schlagwort
Siliciumcarbid
Epitaxieschicht
Polytypie
Kristallstrukturanalyse
Elektronenbeugung
Siliciumcarbidkristall
Polytypie
Dünne Schicht
Elektronenbeugung
Strukturanalyse

Urheber

URN
urn:nbn:de:gbv:27-20060809-123018-2
urn:nbn:de:gbv:27-20060809-123018-2
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:38 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift
  • Online-Publikation

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