Hochschulschrift
Echtzeitanalyse des photoinduzierten Wachstums von Siliziumoxid mittels spektroskopischer Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
VI, 146 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Heidelberg, Univ., Diss., 2004
- Classification
-
Chemie
- Keyword
-
Siliciumdioxid
Kristallwachstum
Fotochemische Reaktion
Ellipsometrie
FT-IR-Spektroskopie
FT-IR-Spektroskopie ; Photooxidation ; Siliciumdioxid ; Oberflächenspektroskopie ; Ellipsometrie ; Distickstoffmonoxid ; Ozon ; Fluorlaser
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:53 PM CEST
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Object type
- Hochschulschrift
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