Hochschulschrift | Online-Publikation

Echtzeitanalyse des photoinduzierten Wachstums von Siliziumoxid mittels spektroskopischer Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Heidelberg, Univ., Diss., 2004

Klassifikation
Chemie
Schlagwort
Siliciumdioxid
Kristallwachstum
Fotochemische Reaktion
Ellipsometrie
FT-IR-Spektroskopie
FT-IR-Spektroskopie ; Photooxidation ; Siliciumdioxid ; Oberflächenspektroskopie ; Ellipsometrie ; Distickstoffmonoxid ; Ozon ; Fluorlaser

Urheber
Patzner, Patrik

URN
urn:nbn:de:bsz:16-opus-52655
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:42 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift
  • Online-Publikation

Beteiligte

  • Patzner, Patrik

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