Monografie

Echtzeitanalyse des photoinduzierten Wachstums von Siliziumoxid mittels spektroskopischer Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie

Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Heidelberg, Univ., Diss., 2004
Identifier
974008524

Thema
Siliciumdioxid ; Kristallwachstum ; Fotochemische Reaktion ; Ellipsometrie ; FT-IR-Spektroskopie ; FT-IR-Spektroskopie ; Photooxidation ; Siliciumdioxid ; Oberflächenspektroskopie ; Ellipsometrie ; Distickstoffmonoxid ; Ozon ; Fluorlaser; Hochschulschrift; Online-Publikation

Beteiligte Personen und Organisationen
Patzner, Patrik

URN
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
26.01.2023, 13:57 MEZ

Objekttyp


  • Monografie

Beteiligte


  • Patzner, Patrik

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