Hochschulschrift | Online-Publikation
Echtzeitanalyse des photoinduzierten Wachstums von Siliziumoxid mittels spektroskopischer Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
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Online-Ressource
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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Heidelberg, Univ., Diss., 2004
- Klassifikation
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Chemie
- Schlagwort
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Siliciumdioxid
Kristallwachstum
Fotochemische Reaktion
Ellipsometrie
FT-IR-Spektroskopie
FT-IR-Spektroskopie ; Photooxidation ; Siliciumdioxid ; Oberflächenspektroskopie ; Ellipsometrie ; Distickstoffmonoxid ; Ozon ; Fluorlaser
- Urheber
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Patzner, Patrik
- URN
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urn:nbn:de:bsz:16-opus-52655
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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25.03.2025, 13:42 MEZ
Datenpartner
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Objekttyp
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
Beteiligte
- Patzner, Patrik