Hochschulschrift | Online-Publikation
Echtzeitanalyse des photoinduzierten Wachstums von Siliziumoxid mittels spektroskopischer Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Heidelberg, Univ., Diss., 2004
- Klassifikation
-
Chemie
- Schlagwort
-
Siliciumdioxid
Kristallwachstum
Fotochemische Reaktion
Ellipsometrie
FT-IR-Spektroskopie
FT-IR-Spektroskopie ; Photooxidation ; Siliciumdioxid ; Oberflächenspektroskopie ; Ellipsometrie ; Distickstoffmonoxid ; Ozon ; Fluorlaser
- Urheber
-
Patzner, Patrik
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:16-opus-52655
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:42 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
Beteiligte
- Patzner, Patrik
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