Monografie
Echtzeitanalyse des photoinduzierten Wachstums von Siliziumoxid mittels spektroskopischer Ellipsometrie und FTIR-Spektroskopie
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Heidelberg, Univ., Diss., 2004
- Identifier
-
974008524
Thema
Siliciumdioxid ; Kristallwachstum ; Fotochemische Reaktion ; Ellipsometrie ; FT-IR-Spektroskopie ; FT-IR-Spektroskopie ; Photooxidation ; Siliciumdioxid ; Oberflächenspektroskopie ; Ellipsometrie ; Distickstoffmonoxid ; Ozon ; Fluorlaser; Hochschulschrift; Online-Publikation
Beteiligte Personen und Organisationen
Patzner, Patrik
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:57 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Patzner, Patrik
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