Hochschulschrift
Amorphe diamantartige Kohlenstoffschichten für integrierte pH-Sensoren
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Hannover, Univ., Diss., 2002
- Keyword
-
Diamantähnlicher Kohlenstoff
ECR-Beschichten
PECVD-Verfahren
Elektronische Eigenschaft
Ionensensitiver Feldeffekttransistor
Wasserstoffionenkonzentration
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:089-3615601680
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:32 AM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
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Magnetron-gesputterte superharte, amorphe Kohlenstoffschichten mit gradiertem Schichtaufbau
Optimierung und Charakterisierung hochtetraedrischer amorpher Kohlenstoffschichten sowie Einfluss des Ionen/Neutralteilchenverhältnisses auf amorphe (hydrogenisierte) Kohlenstoffschichten
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Wolframdotierte wasserstoffhaltige amorphe Kohlenstoffschichten (a-C:H:W) für die schmierstofffreie inkrementelle Kaltmassivumformung
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Nanotribologie amorpher Kohlenstoffschichten
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Nano- und Mikrostrukturierung amorpher Kohlenstoffschichten
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