Hochschulschrift
Amorphe diamantartige Kohlenstoffschichten für integrierte pH-Sensoren
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
VI, 152 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Hannover, Univ., Diss., 2002 (Nicht für den Austausch)
- Schlagwort
-
Diamantähnlicher Kohlenstoff
ECR-Beschichten
PECVD-Verfahren
Elektronische Eigenschaft
Ionensensitiver Feldeffekttransistor
Wasserstoffionenkonzentration
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:37 MESZ
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Objekttyp
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Beteiligte
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