Hochschulschrift
Anwendung der Remote-PECVD-Technologie zur gezielten Verringerung von Defekten in Oxiden auf Siliziumkarbid
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826527944
3826527941
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
147 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1997
- Schlagwort
-
Siliciumcarbid
Thermische Oxidation
PECVD-Verfahren
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:27 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Gölz, Alexander
- Shaker
Entstanden
- 1997
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