Direktschreibende Elektronenstrahllithographie

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Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
30 cm
Umfang
215 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Als Ms. gedr. - Literaturverz. S. 200 - 202

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Eggenstein-Leopoldshafen
(wer)
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe
(wann)
1985
Urheber
Engl, Walter L.
Beets, Dirk
Schulte, Hans-Rainer

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:29 MESZ

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Beteiligte

  • Engl, Walter L.
  • Beets, Dirk
  • Schulte, Hans-Rainer
  • Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe

Entstanden

  • 1985

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