Hochschulschrift
Implementierung eines Moduls zur großflächigen In-Line Blitzlampentemperung von gesputterten ITO-Schichten
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
In: Ilmenau : Universitätsverlag Ilmenau
Ilmenau, Technische Universität Ilmenau, Dissertation, 2020
- Erschienen in
-
Werkstofftechnik aktuell ; 22
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Transparent-leitendes Oxid
Dünne Schicht
Indiumoxide
Zinnoxide
Rapid thermal processing
Blitzlampe
Xenonlampe
Blitzlampe
Substrat
Magnetronsputtern
Blitz
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Ilmenau
- (wer)
-
Universitätsverlag Ilmenau
- (wann)
-
2021
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- DOI
-
10.22032/dbt.49068
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2020000741
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 11:01 MESZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Westphalen, Jasper
- Rädlein, Edda
- Sinzinger, Stefan
- Junghähnel, Manuela
- Ilmenau Media Services
- Universitätsverlag Ilmenau
Entstanden
- 2021
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