Hochschulschrift
Implementierung eines Moduls zur großflächigen In-Line Blitzlampentemperung von gesputterten ITO-Schichten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
In: Ilmenau : Universitätsverlag Ilmenau
Ilmenau, Technische Universität Ilmenau, Dissertation, 2020
- Bibliographic citation
-
Werkstofftechnik aktuell ; 22
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Transparent-leitendes Oxid
Dünne Schicht
Indiumoxide
Zinnoxide
Rapid thermal processing
Blitzlampe
Xenonlampe
Blitzlampe
Substrat
Magnetronsputtern
Blitz
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Ilmenau
- (who)
-
Universitätsverlag Ilmenau
- (when)
-
2021
- Creator
- Contributor
- DOI
-
10.22032/dbt.49068
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2020000741
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 11:01 AM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Westphalen, Jasper
- Rädlein, Edda
- Sinzinger, Stefan
- Junghähnel, Manuela
- Ilmenau Media Services
- Universitätsverlag Ilmenau
Time of origin
- 2021
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