Laser assisted microtechnology

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783540639732
354063973X
Maße
24 cm
Umfang
XII, 270 S.
Ausgabe
2., updated ed.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Literaturverz. S. 247 - 267

Erschienen in
Springer series in materials science ; 19

Schlagwort
Mikrosystemtechnik
Laserbearbeitung
Dünnschichttechnik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Berlin, Heidelberg, New York, Barcelona, Budapest, Hong Kong, London, Milan, Paris, Santa Clara, Singapore, Tokyo
(wer)
Springer
(wann)
1998
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:10 MESZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 1998

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