Chemical Stability of IrO2 Top Electrodes in Ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2‐based MIM Structures : The Impact of Annealing Gas

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Location: Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main

Extent: Online-Ressource

Language: Englisch

Bibliographic citation: In: physica status solidi (RRL) : Rapid Research Letters ; 15 (2021), 5. - 2100027. - Wiley. - ISSN 1862-6254. - eISSN 1862-6270

Event: Veröffentlichung

(where): Konstanz

(who): KOPS Universität Konstanz

(when): 2021

Creator: Szyjka, Thomas
Baumgarten, Lutz
Mittmann, Terence
Matveyev, Yury
Schlueter, Christoph
Mikolajick, Thomas
Schroeder, Uwe
Müller, Martina

URN: urn:nbn:de:bsz:352-2-1eyquhuhauuss5

Rights: Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.

Last update: 25.03.2025, 1:41 PM CET

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Szyjka, Thomas
Baumgarten, Lutz
Mittmann, Terence
Matveyev, Yury
Schlueter, Christoph
Mikolajick, Thomas
Schroeder, Uwe
Müller, Martina
KOPS Universität Konstanz

Time of origin

2021

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