Hochschulschrift
Messung von Ionenenergieverteilungen hinter der Randschicht einer Hochfrequenz-Entladung in Verbindung mit Langmuirsondenmessungen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
123 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst.
Erscheinungsjahr auf der Haupttitels.: 1993
Bochum, Univ., Diss., 1994
- Schlagwort
-
Hochfrequenzentladung
Ion
Energiespektrum
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:24 MESZ
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Objekttyp
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