Hochschulschrift
Herstellung aluminiumhaltiger Hartstoffschichten mittels plasmaunterstützter Verfahren
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826543289
3826543289
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
III, 130 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 1998
- Keyword
-
Titannitrid
Aluminiumnitrid
Mischkristall
PECVD-Verfahren
Aluminium
Ionitrieren
Hochfrequenzplasma
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Shaker
- (when)
-
1998
- Creator
-
Jarms, Christian
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 12:07 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Jarms, Christian
- Shaker
Time of origin
- 1998
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