Hochschulschrift

Herstellung aluminiumhaltiger Hartstoffschichten mittels plasmaunterstützter Verfahren

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783826543289
3826543289
Maße
21 cm
Umfang
III, 130 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 1998

Schlagwort
Titannitrid
Aluminiumnitrid
Mischkristall
PECVD-Verfahren
Aluminium
Ionitrieren
Hochfrequenzplasma

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Shaker
(wann)
1998
Urheber
Jarms, Christian

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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 12:07 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Jarms, Christian
  • Shaker

Entstanden

  • 1998

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