Hochschulschrift
CVD growth of (001) and (111) 3C-SiC epilayers and their interface reactivity with praseodymium oxide dielectric layers
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
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Online-Ressource
- Language
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Englisch
- Notes
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Cottbus, Univ., Diss., 2006
- Keyword
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Siliciumcarbid ; Kristallfläche ; Dielektrische Schicht ; CVD-Verfahren
- Creator
- URN
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urn:nbn:de:kobv:co1-opus-121
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
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14.08.2025, 10:52 AM CEST
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Object type
- Hochschulschrift