Hochschulschrift

CVD growth of (001) and (111) 3C-SiC epilayers and their interface reactivity with praseodymium oxide dielectric layers

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch
Notes
Cottbus, Univ., Diss., 2006

Keyword
Siliciumcarbid ; Kristallfläche ; Dielektrische Schicht ; CVD-Verfahren

Creator

URN
urn:nbn:de:kobv:co1-opus-121
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
14.08.2025, 10:52 AM CEST

Data provider

This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.

Object type

  • Hochschulschrift

Associated

Other Objects (12)