Hochschulschrift

CVD growth of (001) and (111) 3C-SiC epilayers and their interface reactivity with praseodymium oxide dielectric layers

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Cottbus, Univ., Diss., 2006

Schlagwort
Siliciumcarbid ; Kristallfläche ; Dielektrische Schicht ; CVD-Verfahren

Urheber

URN
urn:nbn:de:kobv:co1-opus-121
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:52 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

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