Hochschulschrift
CVD growth of (001) and (111) 3C-SiC epilayers and their interface reactivity with praseodymium oxide dielectric layers
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
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Online-Ressource
- Sprache
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Englisch
- Anmerkungen
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Cottbus, Univ., Diss., 2006
- Schlagwort
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Siliciumcarbid ; Kristallfläche ; Dielektrische Schicht ; CVD-Verfahren
- Urheber
- URN
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urn:nbn:de:kobv:co1-opus-121
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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14.08.2025, 10:52 MESZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift