Optical Sensor Array based Nanospectrometer: Fabrication of high resolution 3D NanoImprint master templates and bonding of Fabry-Pérot filter array onto photodetector array
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Kassel, Universität Kassel, Dissertation, 2017
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Miniaturisierung
Optische Spektroskopie
Nanotechnologie
Nanoprägen
Lithografie
Hybridtechnik
Wafer
Bonden
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Kassel
- (wer)
-
Universitätsbibliothek Kassel
- (wann)
-
2017
- Urheber
-
Hafiz, Muhammad Ikram
- URN
-
urn:nbn:de:hebis:34-2017051152527
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 10:55 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Hafiz, Muhammad Ikram
- Universitätsbibliothek Kassel
Entstanden
- 2017
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