- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Englisch
- Notes
-
In: AMC 2015 – Advanced Metallization Conference
- Classification
-
Öffentliche Darbietungen, Film, Rundfunk
- Keyword
-
Keimbildung
Ruthenium
CVD-Verfahren
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Chemnitz, Chemnitz
- (who)
-
Universitätsbibliothek Chemnitz, Technische Universität Chemnitz
- (when)
-
2016
- Creator
-
Liao, Wen
Bost, Daniel
Ekerdt, John G.
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-207151
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:46 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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Associated
- Liao, Wen
- Bost, Daniel
- Ekerdt, John G.
- Universitätsbibliothek Chemnitz, Technische Universität Chemnitz
Time of origin
- 2016
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