Hochschulschrift | Online-Publikation

Alternatives Antriebs-und Auswerteverfahren für die Mikrosystemtechnik

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2004

Klassifikation
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Schlagwort
Mikromanipulator
Mikroaktor
Elektrodynamischer Wandler
Array
Mikromanipulator
Bewegungsanalyse
Mikrosensor
Feldeffekttransistor
Mikromanipulator
Mikroaktor
Mikrosensor
Array
Feldeffekt
Mikromechanik
Simulation

Urheber

URN
urn:nbn:de:swb:ch1-200401542
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:50 MEZ

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Objekttyp

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  • Online-Publikation

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