Hochschulschrift | Online-Publikation
Erzeugung, Charakterisierung und Strukturierung von Fluorocarbon-Plasmapolymeren für den Einsatz in der Mikrosystemtechnik
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2004
- Klassifikation
-
Technische Chemie
- Schlagwort
-
Perfluoralkane
Plasmapolymerisation
Dünnschichttechnik
Silicium
Substrat
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2004000142
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:24 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
Beteiligte
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