Hochschulschrift

Das interferometrische Phasenkontrastverfahren und seine Anwendung zur Herstellung diffraktiver optischer Elemente

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783939473787
Maße
21 cm, 300 gr.
Umfang
XIII, 190 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2010

Schlagwort
Diffraktives optisches Element
Interferenzlithografie

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Ilmenau
(wer)
Univ.-Verl.
(wann)
2010
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 11:46 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2010

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