Optimizing the plasma oxidation of aluminum gate electrodes for ultrathin gate oxides in organic transistors
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
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Online-Ressource
- Sprache
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Englisch
- Erschienen in
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In: Scientific reports 11 (2021), No. 6382
- Ereignis
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Veröffentlichung
- (wo)
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Stuttgart
- (wer)
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Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart
- (wann)
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2021
- Urheber
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Geiger, Michael
Hagel, Marion
Reindl, Thomas
Weis, Jürgen
Weitz, R. Thomas
Solodenko, Helena
Schmitz, Guido
Zschieschang, Ute
Klauk, Hagen
Acharya, Rachana
- DOI
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10.18419/opus-13057
- URN
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urn:nbn:de:bsz:93-opus-ds-130763
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:53 MEZ
Datenpartner
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Beteiligte
- Geiger, Michael
- Hagel, Marion
- Reindl, Thomas
- Weis, Jürgen
- Weitz, R. Thomas
- Solodenko, Helena
- Schmitz, Guido
- Zschieschang, Ute
- Klauk, Hagen
- Acharya, Rachana
- Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart
Entstanden
- 2021