Optimizing the plasma oxidation of aluminum gate electrodes for ultrathin gate oxides in organic transistors

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: Scientific reports 11 (2021), No. 6382

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Stuttgart
(wer)
Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart
(wann)
2021
Urheber
Geiger, Michael
Hagel, Marion
Reindl, Thomas
Weis, Jürgen
Weitz, R. Thomas
Solodenko, Helena
Schmitz, Guido
Zschieschang, Ute
Klauk, Hagen
Acharya, Rachana

DOI
10.18419/opus-13057
URN
urn:nbn:de:bsz:93-opus-ds-130763
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:53 MEZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2021

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