Conformal SiO2 coating of sub-100 nm diameter channels of polycarbonate etched ion-track channels by atomic layer deposition
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
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Online-Ressource
- Erschienen in
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Conformal SiO2 coating of sub-100 nm diameter channels of polycarbonate etched ion-track channels by atomic layer deposition ; volume:6 ; pages:472-479
Beilstein journal of nanotechnology ; 6, 472-479
- Klassifikation
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Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- DOI
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10.3762/bjnano.6.48
- URN
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urn:nbn:de:101:1-201601133366
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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15.08.2025, 07:20 MESZ
Datenpartner
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