Untersuchungen einer gepulsten Magnetronentladung bei der Abscheidung von Oxidschichten mittels optischer Emissionsspektroskopie und elektrischer Sonden
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Schlagwort
-
Oxidschicht
Emissionsspektroskopie
Plasma
Entladung
Sonde
Elektron
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Chemnitz
- (wer)
-
Universitätsbibliothek Chemnitz
- (wann)
-
2004
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Richter, Frank
Meichsner, Jürgen
- URN
-
urn:nbn:de:swb:ch1-200401661
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 10:53 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
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Beteiligte
- Welzel, Stefan
- Richter, Frank
- Meichsner, Jürgen
- Universitätsbibliothek Chemnitz
Entstanden
- 2004
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