Hochschulschrift
Untersuchungen zur Kinetik der CVD-Abscheidung von Al2O3 aus AlCl3-CO2-HCl-Gemischen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783896534996
3896534998
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
86 S.
- Ausgabe
-
1. Aufl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1998
- Schlagwort
-
Aluminiumoxide
CVD-Verfahren
Reaktionskinetik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Aachen
- (wer)
-
Mainz
- (wann)
-
1999
- Urheber
-
Schierling, Matthias
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 11:40 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Schierling, Matthias
- Mainz
Entstanden
- 1999
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