Hochschulschrift
Untersuchungen zur Kinetik der CVD-Abscheidung von Al2O3 aus AlCl3-CO2-HCl-Gemischen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783896534996
3896534998
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
86 S.
- Edition
-
1. Aufl.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1998
- Keyword
-
Aluminiumoxide
CVD-Verfahren
Reaktionskinetik
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Mainz
- (when)
-
1999
- Creator
-
Schierling, Matthias
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 11:40 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Schierling, Matthias
- Mainz
Time of origin
- 1999
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Abscheidung (CVD) und Charakterisierung W-basierter Diffusionsbarrieren für die Kupfermetallisierung
Kinetische Messung und Simulation der Abscheidung von Bornitrid in CVD-CVI-Prozessen
Abscheidung metastabiler Ti1-xAlxN-Schichten nach dem plasmagestützten CVD-Verfahren
Neue Platin-Komplexe mit Dien-Liganden sowie zur CVD-Abscheidung von Platinschichten
Die Synthese von Silylgermanen als Prozessgase für die CVD-Abscheidung zu Legierungshalbleitern
HCL
Kinetik der Titandiboridabscheidung mittels CVD aus Titantetra- und Bortrichlorid, insbesondere der retardierende Einfluß von HCl
Stable Al2O3 Encapsulation of MoS2-FETs Enabled by CVD Grown h-BN
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