Hochschulschrift
Entwurf, Herstellung und Charakterisierung piezoresistiver oberflächen-mikromechanischer Drucksensoren
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826588471
3826588479
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
122 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Kiel, Univ., Diss., 2000
- Keyword
-
Halbleiterdrucksensor
Siliciumsensor
Miniaturisierung
Technische Membran
LPCVD-Verfahren
Mikromechanik
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Shaker
- (when)
-
2001
- Creator
-
Lisec, Thomas
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 12:34 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Lisec, Thomas
- Shaker
Time of origin
- 2001
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