Hochschulschrift

Metallstrukturierung und Dotierung mit Elementen der III.-Hauptgruppe auf Siliziumsubstraten mit Hilfe von Laser-chemischen Prozessen

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Deutsch
Notes
cc_by_nc_nd http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/deed.de cc
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Dissertation, 2017

Classification
Elektrotechnik, Elektronik
Keyword
Laserchemie
Silicium
Mikromechanik
Metallbearbeitung
Solarzelle
Dotierung
Borverbindungen

Event
Veröffentlichung
(where)
Freiburg
(who)
Universität
(when)
2017
Creator
Contributor
Krossing, Ingo
Glunz, Stefan
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme
Fakultät für Chemie und Pharmazie
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

DOI
10.6094/UNIFR/12261
URN
urn:nbn:de:bsz:25-freidok-122618
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
14.08.2024, 12:00 AM CEST

Data provider

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Object type

  • Hochschulschrift

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Time of origin

  • 2017

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