Foundations of physical vapor deposition with plasma assistance

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: Plasma sources science and technology. 31,S. 1-33

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Leipzig
(wer)
Universitätsbibliothek Leipzig
(wann)
2023
Urheber
Gudmundsson, Jon Tomas
Anders, André
von Keudell, Achim

URN
urn:nbn:de:bsz:15-qucosa2-883984
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:49 MEZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Gudmundsson, Jon Tomas
  • Anders, André
  • von Keudell, Achim
  • Universitätsbibliothek Leipzig

Entstanden

  • 2023

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