Hochschulschrift

Thermomechanisches Verhalten von mittels PACVD abgeschiedenen (Ti,Al)N-Schichten auf WC-6%Co

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
21 cm
Umfang
121 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Dresden, Techn. Univ., Diss., 2002

Schlagwort
Titannitrid
Aluminiumnitrid
PECVD-Verfahren
Dünne Schicht
Thermomechanische Eigenschaft
Verschleiß

Urheber
Göbel, Thomas

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:15 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Göbel, Thomas

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