Hochschulschrift

Beiträge zum Saphir-Wafer-Direktbonden

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783183519057
3183519054
Maße
21 cm
Umfang
VI, 74 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Halle, Univ., Diss., 1997

Erschienen in
Fortschrittberichte VDI / 5 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 519, Reihe 5

Schlagwort
Saphir
Galliumarsenid
Wafer
Mehrschichtsystem
Bonden
Saphir
Wafer
Bonden

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Düsseldorf
(wer)
VDI-Verl.
(wann)
1998
Urheber
Kopperschmidt, Pascal

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:37 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Kopperschmidt, Pascal
  • VDI-Verl.

Entstanden

  • 1998

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