Hochschulschrift

Optimierung der Mikrostruktur und der Messparameter eines photostimulierten Ozonsensors auf der Basis von Indiumoxid

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783839612132
3839612136
Maße
21 cm
Umfang
i, 117 Seiten
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Diagramme
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg im Breisgau, Dissertation, 2016

Erschienen in
Science for systems ; Band 33

Schlagwort
Gassensor
Ozon
Halbleitersensor
Indiumoxide
Dünne Schicht
MOCVD-Verfahren
Wärmebehandlung
Mikrostruktur
Empfindlichkeit
Photostimulation

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Stuttgart
(wer)
Fraunhofer Verlag
(wann)
[2017]
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Fraunhofer IAF
Fraunhofer IRB-Verlag

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:31 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • [2017]

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