Monografie
Optimierung der Mikrostruktur und der Messparameter eines photostimulierten Ozonsensors auf der Basis von Indiumoxid
- Sprache
-
Deutsch
- Umfang
-
i, 117 Seiten
- ISBN
-
978-3-8396-1213-2
- Identifier
-
1135974837
- Reihe
-
Science for systems; Band 33
Thema
Gassensor ; Ozon ; Halbleitersensor ; Indiumoxide ; Dünne Schicht ; MOCVD-Verfahren ; Wärmebehandlung ; Mikrostruktur ; Empfindlichkeit ; Photostimulation ; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf Teile des Objekts ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.04.2024, 08:53 MESZ
Objekttyp
- Monografie
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