Hochschulschrift

Optimierung der Mikrostruktur und der Messparameter eines photostimulierten Ozonsensors auf der Basis von Indiumoxid

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783839612132
3839612136
Dimensions
21 cm
Extent
i, 117 Seiten
Language
Deutsch
Notes
Diagramme
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg im Breisgau, Dissertation, 2016

Bibliographic citation
Science for systems ; Band 33

Keyword
Gassensor
Ozon
Halbleitersensor
Indiumoxide
Dünne Schicht
MOCVD-Verfahren
Wärmebehandlung
Mikrostruktur
Empfindlichkeit
Photostimulation

Event
Veröffentlichung
(where)
Stuttgart
(who)
Fraunhofer Verlag
(when)
[2017]
Creator
Contributor
Fraunhofer IAF
Fraunhofer IRB-Verlag

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Last update
11.06.2025, 1:31 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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Time of origin

  • [2017]

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