A practical guide to optical metrology for thin films

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783527411672
3527411674
Maße
24 cm
Umfang
XII, 211 S.
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Literaturangaben

Schlagwort
Dünne Schicht
Schichtdicke
Optische Messtechnik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Weinheim
(wer)
Wiley-VCH-Verl.
(wann)
2013
Urheber

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:52 MESZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2013

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