Spektroskopische Untersuchung und Modellierung von mikrowellen-angeregten Silanplasmen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Stuttgart, Univ., Diss., 1995
- Keyword
-
Silane
Plasma
ECR-Heizung
Plasmadiagnostik
Silane
Plasma
ECR-Heizung
Plasmadiagnostik
- URN
-
urn:nbn:de:bvb:384-opus4-4633
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:46 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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- Fantz, Ursel
- Universität Augsburg
Time of origin
- 2007
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