Hochschulschrift

Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Deutsch
Notes
Karlsruhe, Universität Karlsruhe, Dissertation, 1992

Bibliographic citation
KFK-5088

Keyword
Kleinstmotor
LIGA-Verfahren
Motor
Drehmoment
Opferschicht
Mikromechanik

Event
Veröffentlichung
(where)
Karlsruhe
(who)
KIT-Bibliothek
(when)
2018
Creator

DOI
10.5445/IR/49792
URN
urn:nbn:de:101:1-2019101511132602988926
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
15.08.2025, 7:38 AM CEST

Data provider

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Object type

  • Hochschulschrift

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Time of origin

  • 2018

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