Hochschulschrift
Anwendung der Flugzeitmassenspektrometrien SIMS und LASER-SNMS zur quantitativen Oberflächen- und Schichtanalyse von Silizium-Wafern
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
107 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Münster (Westfalen), Univ., Diss., 1995
- Schlagwort
-
Siliciumhalbleiter
Wafer
Sekundärionen-Massenspektrometrie
Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometrie
- Urheber
-
Cramer, Hans-Georg
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
- 11.06.2025, 13:39 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Cramer, Hans-Georg
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