Plasma based 2.5D+ micro and nanostructuring for whispering gallery mode resonators

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ilmenau, TU Ilmenau, Dissertation, 2023

Schlagwort
Optischer Resonator
Plasmaätzen
Lithografie
Mikrooptik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Ilmenau
(wer)
TU Ilmenau
(wann)
2024
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen

URN
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2023000351
Rechteinformation
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:51 MEZ

Datenpartner

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Beteiligte

Entstanden

  • 2024

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