Hochschulschrift

Experimentelle Untersuchungen zum Prozess der lateralen explosiven Flüssigphasenepitaxie in amorphen Silizium-Schichten

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Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
30 cm
Umfang
103, [5] Bl.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Jena, Univ., Diss. A, 1988 (Nicht f.d. Austausch)

Schlagwort
Silizium
Mikroelektronische Bauelemente
Flüssigphasenepitaxie
Epitaxie
Silicium
Flüssigphasenepitaxie
Epitaxie

Urheber
Andrä, Gudrun

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:02 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Andrä, Gudrun

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